[发明专利]一种热型红外探测器有效
| 申请号： | 201010228701.2 | 申请日： | 2010-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN102313601A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 董立军;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 马佑平 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种热型红外探测器，包括：红外吸收元件，所述红外吸收元件包括热膨胀材料；应力改变元件，至少部分所述应力改变元件被所述红外吸收元件包围；和至少两个电极，与所述应力改变元件接触。红外吸收元件吸收红外温度升高而产生热膨胀，从而挤压与红外吸收元件相连的应力改变元件，使该应力改变元件内部产生应力，进而使其载流子迁移率发生变化，即电阻率发生变化，通过电阻率的变化表征应力改变元件的应力变化，最终表征被吸收的红外辐射功率。本发明的优点在于，所述器件的制造完全基于大规模集成电路的硅平面工艺，具有低成本高产出的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外探测器 | ||
【主权项】：
一种热型红外探测器，其特征在于，包括：红外吸收元件，所述红外吸收元件包括热膨胀材料；应力改变元件，至少部分所述应力改变元件被所述红外吸收元件包围；和至少两个电极，与所述应力改变元件接触。
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