[发明专利]一种热型红外探测器有效
| 申请号： | 201010228701.2 | 申请日： | 2010-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN102313601A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 董立军;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 马佑平 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 红外探测器 | ||
【权利要求书】：
1.一种热型红外探测器，其特征在于，包括：
红外吸收元件，所述红外吸收元件包括热膨胀材料；
应力改变元件，至少部分所述应力改变元件被所述红外吸收元件包围；和
至少两个电极，与所述应力改变元件接触。
2.如权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述红外吸收元件包括氮化硅、氧化硅中的任意一种或其组合。
3.如权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述应力改变元件包括半导体材料。
4.如权利要求3所述的红外探测器，其特征在于，所述半导体材料包括多晶硅、单晶硅中的任意一种。
5.如权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述电极与测试电路连接，用于测试所述应力改变元件的电阻率变化。
6.如权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述应力改变元件完全被所述红外吸收元件包围。
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