[发明专利]真空吸笔有效
| 申请号： | 201010165015.5 | 申请日： | 2010-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN102233548A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 谢渊;方明海;吴静銮;张士仁;刘克斌 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空吸笔，所述真空吸笔包括真空吸嘴以及活塞式抽真空装置，所述活塞式抽真空装置通过一单向阀与所述真空吸嘴连接，当通过所述活塞式抽真空装置从所述真空吸嘴抽气后，所述单向阀防止气体回流至所述真空吸嘴。本发明所提供的真空吸笔无需外接真空系统提供真空即可将晶片牢牢吸附住，使用方便，可应用于任何场合，节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 | ||
【主权项】：
一种真空吸笔，包括：真空吸嘴；以及活塞式抽真空装置，其通过一单向阀与所述真空吸嘴连接；当通过所述活塞式抽真空装置从所述真空吸嘴抽气后，所述单向阀防止气体回流至所述真空吸嘴。
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