[发明专利]一种W-Ti合金靶材的制备方法

摘要

本发明公开了一种W-Ti合金靶材的制造方法，该方法以纯度高于99.9%的W粉和纯度高于96.7%的TiH2粉为原料，经过对TiH2粉末的高能球磨，随后与W粉进行混粉；然后在压力为250~280MPa，保压时间为3~6min的条件下进行压坯，再对压胚进行真空无压烧结，然后将烧结后的合金进行固溶退火，随后淬火冷却；最后将W-Ti合金机加工成靶材成品即可。本发明与现有技术相比，工艺方法上烧结温度低，烧结过程中不附加任何压力，且所制备的合金靶材合金组织均匀、致密度高、可控尺寸大。

主权项

一种W Ti合金靶材的制备方法，其特征在于，该方法包括以下操作步骤：步骤1，粉末的制备按照W Ti合金的化学成分质量百分比为W：Ti=70 % 90 %：10 % 30 %的比例分别称取纯度高于99.9%的W粉和纯度高于96.7%的TiH2粉；再将TiH2粉装入球磨罐中，添加无水乙醇作为过程控制剂，将球磨罐内的空气排除，然后密封球磨罐进行球磨；选用WC球作为研磨球，球料比为30:1～40:1，球磨时间为36～48 h，球磨罐转速为200r/min；步骤2，混粉将球磨好的TiH2粉末与W粉进行混合，混粉时间为4 10h；步骤3，压坯将混合好的粉末装入冷等静压模具中，采用冷等静压机压制坯料，压力为250 280 MPa，保压时间为3 6 min；步骤4，烧结 将压坯置于高温真空烧结炉中，先对炉内抽真空，保证炉体内的真空度小于10 3帕；然后对炉内进行加热，控制加热速度为10℃/min，当炉内温度达到500 600℃时，保温30min；再以10℃/min的加热速度继续升温，最终烧结温度为1200 1300℃，保温80 120min后，随炉自然冷却到室温；步骤5，固溶退火 再将烧结后的合金进行固溶退火，退火温度为900 1100℃，保温12 24h，随后淬火冷却； 步骤6，机加工最后对W Ti合金进行机加工，使之成为W Ti靶材成品。