[发明专利]热式流量测量装置

摘要

本发明提供一种热式流量测定装置，其具有弯曲的副通路且厚度方向尺寸小。在分离壁两侧形成第一副通路部(10A)和第二副通路部(10B)，在如下范围构成第三副通路部(10C)的直线通路部：与流动于该直线通路部的流体流动方向垂直的横截面，在与分离第一副通路部的层和第二副通路部的层的分离壁的壁面垂直的方向上相对于该分离壁跨两侧；连通第一副通路部和第三副通路部的第一连通通路部(10AC)描绘曲线而改变方向，由倾斜面连接由分离壁构成的第一副通路部的通路壁面和相对于分离壁位于第二副通路侧的第三副通路部的侧壁，在连通第二副通路部和第三副通路部的第二连通通路部(10BC)上具有贯通分离壁的贯通路(10C2)。

主权项

一种热式流量测量装置，其具有：副通路，其吸收流动于主通路的流体的一部分；以及传感器元件，其被设置在所述副通路内来检测流体的流量，所述热式流量测定装置的特征在于，所述副通路具有：在板状部件的表面侧不交叉地描绘曲线而形成的第一副通路部分；在所述板状部件的背面侧不交叉地描绘曲线而形成的第二副通路部分；以及作为贯通所述板状部件的表面侧和背面侧的开口而形成的第三副通路部分，所述第一副通路部分与所述第三副通路部分的一端部连通连接，所述一端部是所述第三副通路部分中沿着所述板状部件的板面的方向的一端部，所述第二副通路部分与所述第三副通路部分的另一端部连通连接，所述另一端部是所述第三副通路部分中沿着所述板状部件的板面的方向的另一端部，所述传感器元件配置在所述第三副通路部分。