[发明专利]改良的基板无效边去除系统无效
| 申请号： | 201010111616.8 | 申请日： | 2010-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN102133725A | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 王土城;纪聪生;李龙生;蔡启勋 | 申请（专利权）人： | 均豪精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/00 | 分类号： | B24B9/00;B24B49/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种改良的基板无效边去除系统，该基板无效边去除系统包括：一床台；一基板乘载模组，具有一基板载座以乘载一待研磨基板；一研磨轮乘载模组，具有至少一研磨轮机构，以去除该待研磨基板的无效区域；及至少一量测定位模组。该量测定位模组可于执行待研磨基板的无效区域去除前，量测待研磨基板的厚度以及位置，并由一外部电脑计算之后，调整该研磨轮机构的高度与位置，以对待研磨基板执行位置补偿与角度补偿，以提高无效区域去除的准确度，而可避免执行无效区域去除时，破坏了待研磨基板上的有效区域。 | ||
| 搜索关键词： | 改良 无效 去除 系统 | ||
【主权项】：
一种改良的基板无效边去除系统，其特征在于其包括：一床台，其内部设有一第一滑轨；一基板乘载模组，设置于该第一滑轨之上，该基板乘载模组具有一基板载座，以乘载一待研磨基板；一研磨轮乘载模组，装设于该床台之上，该研磨轮乘载模组具有至少一研磨轮机构，以对该待研磨基板执行无效区域的去除；及至少一量测定位模组，装设于床台之上，该量测定位模组可于去除待研磨基板的无效区域之前，先对待研磨基板执行厚度量测以及定位量测，并经过计算之后，调整该研磨轮机构的高度与位置以完成位置补偿，并同时通过该基板载座，以对待研磨基板执行角度补偿，如此，可提高无效区域去除的精确度，以避免研磨轮机构于执行待研磨基板无效区域去除时，破坏了待研磨基板的有效区域。
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