[发明专利]用于支承旋转部件的滚动体轴承在真空设备中的应用以及真空设备有效
申请号: | 200980129530.3 | 申请日: | 2009-07-17 |
公开(公告)号: | CN102105653A | 公开(公告)日: | 2011-06-22 |
发明(设计)人: | 拉尔夫·阿达米茨;赖纳·赫尔策;马库斯·亨利 | 申请(专利权)人: | 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 |
主分类号: | F01C21/02 | 分类号: | F01C21/02;F04C25/02;F04D17/16;F04D19/04;F04D29/059 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏金霞;田军锋 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种用于在真空设备中支承旋转部件的滚动体轴承,其包括设置在轴承元件(12、14)之间的多个滚动元件(10)。例如,轴承室(26)在两侧上通过密封元件(22、24)封闭。所述密封元件(22、24)具有较小的密封间隙(s)。根据本发明的滚动体轴承可在真空部分中使用,在所述真空部分中存在小于10-3毫巴的压强。 | ||
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【主权项】:
用于支撑旋转部件的滚动体轴承在真空设备中的应用,包括:设置在两个轴承元件(12、14)之间的轴承空间(26)中的多个滚动元件(10),以及用于在对着真空部分(18、20)的至少一侧上密封所述轴承空间(26)的至少一个密封元件(22、24、40、46),其中,所述密封元件(22、24、40、46)固定地连接于所述两个轴承元件中的其中一个轴承元件(14)或者连接于与所述轴承元件相连的部件(36),并且其中,为了形成间隙环密封,所述密封元件设置在距另一轴承元件(12)或者距与所述轴承元件相连的部件(30、32)的一定距离(s)处,所述距离(s)小于所述真空部分(18、20)中的分子的平均自由程,其特征在于,所述真空部分(18、20)中的压强低于10‑3毫巴。
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