[发明专利]固态成像装置及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200980108807.4 申请日: 2009-02-05
公开(公告)号: CN101971342A 公开(公告)日: 2011-02-09
发明(设计)人: 小池英敏 申请(专利权)人: 株式会社东芝
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H04N5/335
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 吕林红
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种固态成像器件,包括:第一导电型的半导体衬底,具有设置在其表面上的扩散层区;第一导电型的用于像素分离的扩散层,其底部形成在所述扩散层区在像素区中的最深位置处;以及第一导电型的第一深扩散层,设置在所述扩散层区在第一外围逻辑区中的最深位置处,用于电连接所述半导体衬底和所述第一外围逻辑区,并且具有与所述用于像素分离的扩散层相等的第一浓度梯度。
搜索关键词: 固态 成像 装置 及其 制造 方法
【主权项】:
一种固态成像器件,包括:第一导电型的半导体衬底,具有设置在其表面上的扩散层区;第一导电型的用于像素分离的扩散层,其底部形成在所述扩散层区在像素区中的最深位置处;以及第一导电型的第一深扩散层,设置在所述扩散层区在第一外围逻辑区中的最深位置处,用于电连接所述半导体衬底和所述第一外围逻辑区,并且具有与所述用于像素分离的扩散层相等的第一浓度梯度。
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