[实用新型]具复向喷洗机构的基板湿制程设备无效
| 申请号： | 200920293194.3 | 申请日： | 2009-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN201558827U | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 周坤麟;蓝文正;刘素珍;何瑞竹;郭先立;高自强 | 申请（专利权）人： | 叙丰企业股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所 11276 | 代理人： | 刘云贵;李瑞峰 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种具复向喷洗机构的基板湿制程设备，其包含一机台、一喷洗机构、一滚转驱动装置及一直线驱动装置，主要是该喷洗机构具有结合在机台二侧的轴承座，及结合在二轴承座之间的管路，该管路的管身并结合有喷嘴；以及该滚转驱动装置具有驱动马达、主驱动组件及从驱动组件。借此，本实用新型具复向喷洗机构的基板湿制程设备，可利用直线驱动装置带动喷洗机构直线往复移动，并利用滚转驱动装置带动喷洗机构往复滚转运动，进而针对输入机台的基板进行喷洗。 | ||
| 搜索关键词： | 机构 基板湿制程 设备 | ||
【主权项】：
一种具复向喷洗机构的基板湿制程设备，其包含一机台，一结合在机台上的喷洗机构，一带动喷洗机构往复滚转的滚转驱动装置，及一带动喷洗机构往复移动的直线驱动装置，其特征在于：该喷洗机构具有一组以上结合在机台一侧的第一轴承座，一组以上结合在机台另一侧与第一轴承座相对应的第二轴承座，及一支以上结合在第一轴承座与第二轴承座之间的管路；该管路前、后端各别设有一能够轴向移动及滚转状结合第一轴承座与第二轴承座的轴杆，该管路的管身并结合有一个以上的喷嘴；以及该滚转驱动装置具有一组以上结合在机台一侧的驱动马达，一结合在驱动马达的主驱动组件，及一结合在管路前端轴杆的从驱动组件。
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