[实用新型]晶圆劈裂整平装置

摘要

本实用新型是一种晶圆劈裂整平装置，其是用以设置于晶圆劈裂机的活动基座上，晶圆劈裂整平装置主要是于该活动基座上设有一线性导件，并于该线性导件的活动端部上固设一压抵组件，由此使压抵组件可相对于活动基座作上下直线运动，在劈裂过程中，由动力源带动该活动基座下移，于劈裂刀接触晶圆前，先使该压抵组件接触并压抵晶圆，利用压抵组件本身的重量将晶圆先行整平，再驱动劈刀对晶圆进行劈裂，本实用新型在劈裂前先行将晶圆整平，提升劈刀对正晶圆表面预割线的精密度，以及劈刀接触晶圆表面的垂直度，使晶圆劈裂面更加平整，进而提供品质更好的晶粒。

主权项

一种晶圆劈裂整平装置，用以装设于晶圆劈裂机中可被驱动上下移动的活动基座上，及位于晶圆劈刀的侧边，其特征在于，该晶圆劈裂整平装置包含：一线性导件，其包含可相对于该活动基座上下直线运动的活动端部；以及一压抵组件，其装设于该线性导件的活动端部。