[实用新型]基于光栅的高精度激光光束小角度偏转装置无效

专利信息
申请号: 200920137649.2 申请日: 2009-04-13
公开(公告)号: CN201378063Y 公开(公告)日: 2010-01-06
发明(设计)人: 王灿辉;任雪畅;刘守;张向苏;刘国华 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: G01D11/00 分类号: G01D11/00;G02B26/08
代理公司: 厦门南强之路专利事务所 代理人: 马应森;刘 勇
地址: 361005福*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 基于光栅的高精度激光光束小角度偏转装置,涉及一种激光光束偏转装置。提供一种成本低、偏转精度高的基于光栅的高精度激光光束小角度偏转装置。设有激光器、可测量旋转角度的旋转台、光栅和光阑。光栅设于旋转台上且位于旋转台的直径垂直面上,光栅的光栅面背向激光器,激光器设于光栅前方,激光器发出的激光光束垂直入射于光栅,并且穿过旋转台的旋转轴,光阑设于光栅后的光路中,光阑上设有透光窗,透光窗只供由光栅产生的一束衍射光通过。
搜索关键词: 基于 光栅 高精度 激光 光束 角度 偏转 装置
【主权项】:
1.基于光栅的高精度激光光束小角度偏转装置,其特征在于设有激光器、可测量旋转角度的旋转台、光栅和光阑,光栅设于旋转台上且位于旋转台的直径垂直面上,光栅的光栅面背向激光器,激光器设于光栅前方,激光器发出的激光光束垂直入射于光栅,并且穿过旋转台的旋转轴,光阑设于光栅后的光路中,光阑上设有透光窗。
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