[发明专利]超低浓度气体传感器

摘要

本发明揭示了一种用于检测超低浓度气体的传感器，确保传感器对分析气体的检测在恒压、恒流、恒湿、恒温以及消除干扰气体影响的条件下进行，从而最大程度的消除气体流动、压力、湿度与温度以及气体组成等变化因素的干扰，提高传感器的信噪比，达到1-10ppb的检测下限与精度。该传感器包括：气体过滤装置，携带被测气体的气样通过该气体过滤装置，减小气样中对被测气体检测信号产生ppb量级或更大信号干扰的微粒与干扰气体；恒流恒压装置，连接到气体过滤装置，对经过滤的气体的流速和压力进行控制；恒湿恒温装置，连接到恒流恒压装置，将湿度控制在对被测气体检测信号产生恒定或可以通过零点校正消除其影响的范围内，并控制气体的温度；以及检测装置，置于恒湿恒温装置内，对气体进行检测。

主权项

一种用于检测超低浓度气体的传感器，其特征在于，包括：气体过滤装置，携带被测气体的气样通过该气体过滤装置，减小气样中对被测气体检测信号产生ppb量级或更大信号干扰的微粒与干扰气体；恒流恒压装置，连接到气体过滤装置，对经过滤的气体的流速和压力进行控制；恒湿恒温装置，连接到恒流恒压装置，将湿度控制在对被测气体检测信号产生恒定或可以通过零点校正消除其影响的范围内，并控制气体的温度；检测装置，置于所述恒湿恒温装置内，对气体进行检测，所述检测装置包括一个或多个并联或串联的传感器，除用于检测所述被测气体的传感器外，其他传感器用于校正无法通过所述气体过滤装置滤除的干扰气体的影响；取样缓冲装置，设置于微量取样泵之前，用于聚集气体；其中，所述被测气体为一氧化氮，所述恒流恒压装置将气体的流速控制为0.32‑0.39L/s，所述恒湿恒温装置将湿度控制为50％‑70％并将温度控制为25°C。