[发明专利]一种光驱动微阀及其驱动方法无效
申请号: | 200910199051.0 | 申请日: | 2009-11-19 |
公开(公告)号: | CN101709789A | 公开(公告)日: | 2010-05-19 |
发明(设计)人: | 俞燕蕾;朱玉田;李晓英;章园园;陈茂林;黄海涛;邢星;刘恒 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | F16K3/22 | 分类号: | F16K3/22;F16K7/14;F16K31/00 |
代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人: | 陆飞;盛志范 |
地址: | 20043*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明属于材料和微机械技术领域,具体为一种光驱动微阀及驱动方法。该光驱动微阀包含一个可产生形变的单元,所述单元包含在光照下产生伸缩变形的光致形变材料。所述微阀可为悬臂梁结构或阀膜结构。所述悬臂梁结构由基板、悬臂支架、光致形变材料制成的悬臂梁和阀塞组成。所述阀膜结构包括阀座和基板,所述底座与基板之间的空间形成微阀的流道,位于所述阀座上的上阀膜与位于所述基板上的下阀膜相贴合。本发明还提供一种驱动微阀的方法,将光照射到微阀的光致形变材料上,通过光致形变材料的形变控制微阀的开合。本发明的微阀结构简单,尺寸较小,适用于微流体传输与控制、微机械技术领域;本发明的光驱动方法具有传递功率大、非接触、快速、精确、清洁等优点,实现光能向机械能的直接转换。 | ||
搜索关键词: | 一种 驱动 及其 方法 | ||
【主权项】:
一种光驱动微阀,包含一个可产生形变的单元,其特征在于,所述单元包含在光照下可伸缩变形的光致形变材料,该单元为悬臂梁结构,或者为阀膜结构。
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