[发明专利]滚轮装置驱动机构

摘要

本发明公开了一种滚轮装置驱动机构，适用于驱动平行安装于真空腔内用于传输基片的滚轮装置，包括驱动装置、磁力传动装置及密封盖，真空腔的腔壁开设有安装孔，密封盖密封地安装于安装孔内，密封盖具有中空结构的凸起，磁力传动装置包括传动齿轮、外磁环套和内磁环套，传动齿轮套于外磁环套外，凸起穿过外磁环套并与传动齿轮枢接，传动齿轮与驱动装置连接，内磁环套固定套设在滚轮装置的滚轮轴上并容置于凸起的中空结构内，外磁环套与内磁环套均内嵌有永磁体，驱动装置带动传动齿轮转动，传动齿轮带动外磁环套旋转，外磁环套带动内磁环套旋转，内磁环套带动滚轮装置的滚轮轴旋转。本发明滚轮装置驱动机构密封效果好、不易损坏、高清洁度、无噪音。

主权项

一种滚轮装置驱动机构，适用于驱动平行安装于真空腔内的用于传输基片的滚轮装置，其特征在于：所述滚轮装置驱动机构包括驱动装置、磁力传动装置及密封盖，所述真空腔的腔壁开设有安装孔，所述密封盖密封地安装于所述安装孔内，所述密封盖具有中空结构的凸起，所述磁力传动装置包括传动齿轮、外磁环套和内磁环套，所述传动齿轮套于所述外磁环套外，所述凸起枢接地穿过所述外磁环套并与所述传动齿轮枢接，所述传动齿轮与所述驱动装置连接，所述内磁环套固定套设在所述滚轮装置的滚轮轴上并容置于所述密封盖的凸起的中空结构内，所述外磁环套与所述内磁环套均内嵌有永磁体，所述驱动装置驱动所述传动齿轮转动，所述传动齿轮带动所述外磁环套旋转，所述外磁环套带动所述内磁环套旋转，所述内磁环套带动所述滚轮装置的滚轮轴旋转。