[发明专利]高纯度切割硅粉(干法)回收

摘要

半导体器件(包括集成电路、太阳电池)大都采用硅锭(棒)切割成片材加工而成，切割的硅粉回收要求清除混入的各种异物杂质，尤其是有害的铁杂质。以往采用酸洗、浮选的办法，将异物杂质进行化学反应，利用物质的表面张力、附着力差异，有选择的将硅粉分选。它们都是在液体介质中进行，势必引入新的杂质和对环境的污染，工艺周期长，能源消耗大，回收成本高。本发明采用具有特定性能的气流(紊流、湍流)，将切割硅粉、杂质异物分离成单体微粒在二维平面、三维立体空间悬浮，将悬浮微粒在静电场、静磁场、电磁场和离心力场中分选，减少环境污染、节约能源，提高效率，降低成本。

主权项

一种高纯硅锭切割硅粉的回收方法，由气体将原材料微粒悬浮，将携带悬浮固体微粒的气流通过磁场、交变电磁场、高压静电场和离心力场，用磁场清除铁磁体杂质、交变电磁场清除金属导体杂质、静电场清除绝缘体杂质、气流离心分选的干式物理方法，其特征在于：(1).含有杂质的硅粉在高速气流作用下，在三维空间成单体微粒悬浮，由气体携带进行分选；(2).含有铁磁性杂质的硅粉气流经过磁场时，铁磁体微粒杂质被磁极吸住固定，从硅粉气流中清除；(3).含有金属导体杂质的硅粉气流经过交变电磁场时，金属导体在感应线圈中加热，温度升高，经过低融点胶体管道挡板时，被胶体挡板、管壁粘住固定，从硅粉气流中清除；(4).含有绝缘体杂质的硅粉气流经过高压静电场时，绝缘体微粒在电场中极化成偶极子，被电极吸附固定，从硅粉气流中清除；(5).含有硅粉的气流经过离心力场时，在湍流作用下，硅粉微粒依阻力/质量比不同在容器壁按高度分布聚集，可依上而下回收硅粉。