[发明专利]回转仪感测器、系统及用于形成回转仪感测器结构的方法有效
| 申请号： | 200910171636.1 | 申请日： | 2009-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN101776476A | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 吴汀淏;郑创仁;李久康;彭荣辉;蔡尚颖 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;B81B7/02;B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种回转仪感测系统、回转仪感测器及用于回转仪感测器的结构的制造方法。该回转仪感测器，包含一回转盘；第一光源配置用以提供第一光束，第一光束邻近于回转盘的第一边缘；以及第一光接收器配置用以接收第一光束，以感应回转盘在第一方向的振动。该回转仪感测系统包括，该回转仪感测器及一处理单元，与该回转仪感测器耦合，该处理单元能够控制该回转仪感测系统对应于该回转盘在该第一方向的该振动。该用于形成回转仪感测器结构的方法，包括：形成一回转盘，至少一第一光通道隔开该回转盘与一框，其中该至少一第一光通道提供一第一光束一路径，该第一光束被感应以决定该回转盘在一第一方向的一振动。 | ||
| 搜索关键词： | 回转仪 感测器 系统 用于 形成 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种回转仪感测器，其特征在于其包含：一回转盘；一第一光源，是配置用以提供一第一光束，该第一光束邻近于该回转盘的一第一边缘；以及一第一光接收器，是配置用以接收该第一光束，以感测该回转盘在一第一方向的一振动。
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