[发明专利]在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置无效
| 申请号： | 200910164658.5 | 申请日： | 2004-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN101644640A | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·穆尔 | 申请（专利权）人： | 全域探测器公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/36;G01N23/04;G01N23/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王琼先;王永建 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置，用于制备TEM样品架(170)的样坯(100)，其包括片材(120)，所述片材包括TEM样品架模板(170)。片材(120)至少有一部分将TEM样品架模块(170)与片材的其他部分相连。通过在压机中从样坯上切出TEM样品架模板(170)而形成TEM样品架(170)，所述切削将纳操作器探针末梢(150)的针尖(160)与所形成的TEM样品架(170)相接合，所述探针(150)的针尖(160)上连接有样品，用于在TEM中进行检验。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 离子束 显微镜 进行 快速 样品 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种压机，用于从TEM样坯上切出TEM样品架，并将连接有样品的探针针尖接合到该TEM样品架上，所述压机包括：外模具；位于外模具内的内模具；与内、外模具相对的靠模杆；与靠模杆同轴布置的剪冲头；将靠模杆朝内模具偏置的下压弹簧；和致动器，用于朝内、外模具驱动剪冲头。
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