[发明专利]光感测器及相应的薄膜晶体管基板的制造方法

摘要

本发明提供一种光感测器的制造方法，其包含：提供一衬底；在衬底上沉积一第一导电层；对第一导电层进行一第一微影制程从而形成一图案化的第一导电层；在图案化的第一导电层上形成一富硅绝缘层；沉积一绝缘保护层；对绝缘保护层进行一第二微影制程以暴露出部分的富硅绝缘层；沉积一第二导电层；以及对第二导电层进行一第三微影制程从而形成一图案化的第二导电层。其中，在进行第二微影制程时暴露出富硅绝缘层的一边缘以避免在进行第三微影制程时图案化的第二导电层出现断线。

主权项

一种光感测器的制造方法，其特征在于其包含：提供一衬底；在该衬底上沉积一第一导电层；对该第一导电层进行一第一微影制程从而形成一图案化的第一导电层；在该图案化的第一导电层上形成一富硅(Si rich)绝缘层；沉积一绝缘保护层；对该绝缘保护层进行一第二微影制程以暴露出部分的该富硅绝缘层；沉积一第二导电层；以及对该第二导电层进行一第三微影制程从而形成一图案化的第二导电层；其中，在进行该第二微影制程时暴露出该富硅绝缘层的一边缘以避免在进行该第三微影制程时该图案化的第二导电层出现断线。