[发明专利]轴对称非球面光学元件面形的检测方法

摘要

轴对称非球面光学元件面形的检测方法，涉及一种非球面光学元件的检测。提供一种简单、快捷、准确的轴对称非球面光学元件面形的检测方法。将光学元件固定在检测平台上，测出非球面镜顶点坐标，得通过顶点的Z轴方向的直线为轴对称非球面镜的对称轴，使光学元件顶点与检测平台中心在同一X轴上；以光学元件半径为半截面线的测量距离，确定每条半截面线扫描的步数；以光学元件的顶点为起点沿X轴方向逐点扫描被检测光学元件表面，直至半截面线全部检测完毕；测完一条半截面线后，探针回到平台的中心等待下次测量；旋转平台，移动XY轴使在XY平面上的探针坐标与光学元件顶点坐标一致，从起点开始检测，测得另一条半截面线，逐一测量，即完成检测。

主权项

1.轴对称非球面光学元件面形的检测方法，其特征在于包括以下步骤：1)将光学元件固定在面形检测系统的旋转检测平台上，利用非球面光学元件的顶点检测方法检测出非球面镜的顶点坐标，则可得到通过顶点的Z轴方向的直线为轴对称非球面镜的对称轴，旋转光学元件使光学元件的顶点与旋转检测平台的中心在同一X轴上；2)以光学元件的半径作为半截面线的测量距离，根据设定的扫描步距确定每条半截面线扫描的步数；3)以光学元件的顶点为起点沿X轴方向逐点扫描被检测光学元件的表面，直至半截面线全部检测完毕；4)测完一条半截面线后，探针回到旋转平台的中心等待下次测量；5)旋转检测平台，分别移动X轴、Y轴使得在XY平面上的探针坐标与光学元件的顶点坐标一致，从起点开始检测，则可按设定的步距测得另一条半截面线，逐一测量，即可完成轴对称非球面光学元件面形的检测。