[发明专利]微型阵列式胶体推进器

摘要

本发明涉及微胶体推进器，具体是一种基于MEMS技术的微型阵列式胶体推进器。实现了胶体推进器的微型化、微推力，解决了喷射极喷头供液、喷射控制不易等问题，包括喷射极、抽取极、玻璃支撑框体，喷射极的基板上刻蚀有若干按列设置的管状喷头，喷射极的基板上刻蚀有若干相互平行的条状刻蚀槽，条状刻蚀槽内仅设置一列管状喷头，各刻蚀槽槽底及其内管状喷头顶部溅射有铝层，各刻蚀槽一端分别设有与其槽底铝层连通的接线柱，管状喷头输液通道内采用HF刻蚀工艺加工为多孔硅结构；抽取极为栅栏状，其条形栅缝与喷射极的刻蚀槽正对设置。具有性能稳定、对准精度高、便于加工、供液喷射易于控制等优点，能实现分批控制喷头喷射的目的。

主权项

1、一种微型阵列式胶体推进器，包括采用ICP刻蚀工艺加工高阻单晶硅基板制成的喷射极(1)和抽取极(2)，以及置于喷射极(1)和抽取极(2)之间、并与两极键合的玻璃支撑框体(3)，喷射极(1)的高阻单晶硅基板(4)上刻蚀有若干管状喷头(5)，且喷射极(1)刻蚀有管状喷头(5)的一面面向抽取极(2)，管状喷头(5)的输液通道(6)垂直贯穿高阻单晶硅基板(4)，其特征在于：喷射极(1)上的管状喷头(5)按列设置，喷射极(1)的高阻单晶硅基板(4)上刻蚀有若干相互平行的条状刻蚀槽(7)，且条状刻蚀槽(7)内仅设置一列管状喷头(5)，各刻蚀槽(7)的槽底及其内管状喷头(5)的顶部溅射有铝层(9)，且各刻蚀槽(7)的一端分别设有与其槽底铝层(9)连通的接线柱(10)，管状喷头(5)的输液通道(6)内采用HF刻蚀工艺加工为多孔硅结构；抽取极(2)为栅栏状，其条形栅缝(11)与喷射极(1)刻蚀槽(7)内的管状喷头(5)正对设置。