[发明专利]微型红外探测器高真空排气激光封口装置及工艺无效
| 申请号： | 200910055331.4 | 申请日： | 2009-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN101618480A | 公开（公告）日： | 2010-01-06 |
| 发明（设计）人： | 俞君;朱三根;王小坤;曾智江;郝振贻 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | B23K26/12 | 分类号： | B23K26/12;B23K26/24;B23K26/42 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 郭 英 |
| 地址： | 20008*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型红外探测器高真空排气激光封口装置及工艺，装置主要包括：外壳体、样品台、加热圈以及温度、真空保持系统。将样品固定在样品台上，下方的加热圈通过螺栓与固定槽相连，再通过三根固定在外壳底部的支撑柱连接样品台，关闭钢化玻璃密封门，用真空排气小车通过排气口抽腔体内高真空，在排气的同时打开加热器电源，烘烤器件使除气充分，待真空准备完成后，便可利用激光技术通过激光传输口对样品进行封口。本发明的优点：结构简单，使用方便；为趋于集成化和微型化的探测器封装技术奠定了工艺基础；提供了非制冷型或热电致冷型微型红外探测器在去除排气管后进行高真空烘烤排气和激光封口工艺的可靠实施空间。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 红外探测器 真空 排气 激光 封口 装置 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种微型红外探测器高真空排气激光封口装置，它主要包括外壳体(1)、样品台(2)、支撑柱(201)、加热圈(202)以及真空保持系统，其特征在于：样品台(2)通过三根四氟乙烯支撑柱(201)安装在外壳体(1)中，样品台(2)下方安装一加热圈(202)，并用一固定槽(203)和四个螺栓将加热圈(202)贴紧固定在样品台(2)的背面，外壳体(1)的顶部中央开一由光学玻璃密封的激光传输口(101)，同时外壳体(1)上还安装有排气口(102)、温度控制仪(103)、真空规(104)和充气口(105)。
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