[发明专利]过程检测方法和装置无效
| 申请号： | 200910054408.6 | 申请日： | 2009-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN101937212A | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 王邕保 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴靖靓;李丽 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种过程检测方法和装置。所述方法包括：获取产品的质量特性值；计算所述产品的质量特性值的平均值和标准差；设置偏移系数，其中，若计算所得的产品的质量特性值的平均值小于规格目标值，则所述偏移系数与规格下限值关联，若计算所得的产品的质量特性值的平均值大于规格目标值，则所述偏移系数与规格上限值关联；计算过程能力指数，所述过程能力指数与规格上限值、规格下限值、偏移系数及产品的质量特性值的标准差关联；根据所述过程能力指数分析过程的技术能力。应用所述过程检测方法和装置，可以准确地分析过程的状态，针对过程中出现的差异或异常现象采取相应措施进行纠正，从而使工序处于控制(稳定)状态。 | ||
| 搜索关键词： | 过程 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种过程检测方法，其特征在于，包括：获取产品的质量特性值；计算所述产品的质量特性值的平均值和标准差；设置偏移系数，其中，若计算所得的产品的质量特性值的平均值小于规格目标值，则所述偏移系数与规格下限值关联，若计算所得的产品的质量特性值的平均值大于规格目标值，则所述偏移系数与规格上限值关联；计算过程能力指数，所述过程能力指数与规格上限值、规格下限值和所述设置的偏移系数及计算所得的产品的质量特性值的标准差关联；根据计算所得的过程能力指数分析过程的技术能力。
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