[发明专利]温度控制装置及其温度控制方法无效
申请号: | 200910054223.5 | 申请日: | 2009-06-30 |
公开(公告)号: | CN101587355A | 公开(公告)日: | 2009-11-25 |
发明(设计)人: | 龚岳俊;黄友任;聂宏飞;金敏;余小虎 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G05D23/01 | 分类号: | G05D23/01;G05D23/185;G05D23/19 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈 蘅;李时云 |
地址: | 201203上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种温度控制装置及其温度控制方法,该装置包括水泵、热交换器、三通阀、循环冷却液槽、压缩机、电子膨胀阀,所述循环冷却液槽内含有一电加热器,所述三通阀含有第一、二输入端和一输出端,所述热交换器分别含有第一、二输入端和第一、二输出端,所述三通阀的输出端与所述循环冷却液槽的输入端连接,第一输入端与水泵的输出端连接,第二输入端与所述热交换器的第二输出端连接;所述热交换器的第一输入端与电子膨胀阀的输出端连接,第一输出端与压缩机的输入端连接,第二输入端与水泵的输出端连接。本发明提供的温度控制装置及其温度控制方法控制简单,精度高,节能。 | ||
搜索关键词: | 温度 控制 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种温度控制装置,包括水泵、热交换器、三通阀、循环冷却液槽、压缩机、电子膨胀阀,所述循环冷却液槽内含有一电加热器,所述三通阀含有第一、二输入端和一输出端,所述热交换器分别含有第一、二输入端和第一、二输出端,其特征在于:所述三通阀的输出端与所述循环冷却液槽的输入端连接,第一输入端与水泵的输出端连接,第二输入端与所述热交换器的第二输出端连接;所述热交换器的第一输入端与电子膨胀阀的输出端连接,第一输出端与压缩机的输入端连接,第二输入端与水泵的输出端连接。
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