[发明专利]铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪无效
申请号: | 200910043257.4 | 申请日: | 2009-04-30 |
公开(公告)号: | CN101545870A | 公开(公告)日: | 2009-09-30 |
发明(设计)人: | 王健;陈武;朱有为 | 申请(专利权)人: | 湖南通源机电科技有限公司;王健 |
主分类号: | G01N21/894 | 分类号: | G01N21/894 |
代理公司: | 长沙星耀专利事务所 | 代理人: | 宁星耀 |
地址: | 410007湖南省长沙市*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪,其包括机架、固定于机架上的台板,其特征在于,台板上固定有透明玻璃基板,透明玻璃基板下方设有LED双点光源;台板上装有XY轴机器人,XY轴机器人的Y轴上装有悬臂和微调装置,双点光源装在悬臂上,微调装置顶部设有两套CCD成像系统,所述CCD成像系统由3.5倍到22.5倍可调镜头和最高分辨率≥1920×1080 CCD相机构成,所述XY轴机器人与ROBOT及PLC控制器连接;所述ROBOT及PLC控制器通过I/O与工控PC机连接,并与台板上的声光报警装置和操控盒连接,CCD相机电缆通过拖链与工控PC机上的高速图像采集卡连接,工控PC机与LCD显示器连接;透明玻璃基板旁边设有铬板承载装置。本发明结构简单,操作方便,检查铬版膜针孔微观缺陷速度快,效率高。 | ||
搜索关键词: | 铬版膜 针孔 微观 缺陷 高速 自动 检查 | ||
【主权项】:
1、一种铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪,包括机架、固定于机架上的台板,其特征在于,台板上固定有透明玻璃基板,透明玻璃基板下方设有LED双点光源;台板上装有XY轴机器人,XY轴机器人的Y轴上装有悬臂和微调装置,双点光源装在悬臂上,微调装置顶部设有两套CCD成像系统,所述CCD成像系统由3.5倍到22.5倍可调镜头和最高分辨率≥1920×1080CCD相机构成,所述XY轴机器人与ROBOT及PLC控制器连接;所述ROBOT及PLC控制器通过I/O与工控PC机连接,并与台板上的声光报警装置和操控盒连接,CCD相机电缆通过拖链与工控PC机上的高速图像采集卡连接,工控PC机与LCD显示器连接;明玻璃基板旁边设有铬板承载装置。
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