[发明专利]镀通孔微蚀液无效
| 申请号： | 200910030626.6 | 申请日： | 2009-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN101864570A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 杨雪林 | 申请（专利权）人： | 江苏苏杭电子有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215341 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镀通孔微蚀液，按浓度计：微蚀液中包含有如下成份：Na2S2O8：70～90g/L；H2SO4：27.6g/L；CuSO4：1～20g/L；所述微蚀液的溶剂为去离子水。本发明采用H2SO4-Na2S2O8体系微蚀液，使用时不产生分解，微蚀速率较大，可达到0.7μm～0.9μm/min，而且微蚀速率较稳定，控制较方便，有效解决了微蚀稳定性和微蚀速率间的矛盾，既易于微蚀控制，又提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 镀通孔微蚀液 | ||
【主权项】：
一种镀通孔微蚀液，其特征是：按浓度计：微蚀液中包含有如下成份：Na2S2O8：70～90g/L；H2SO4：27.6g/L；CuSO4：1～20g/L；所述微蚀液的溶剂为去离子水。
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