[发明专利]涂敷装置

摘要

本发明提供一种通过迅速产生吸附基板的吸引力而缩短吸附时间，从而能够提高涂敷装置整体的生产周期的涂敷装置。其具备：基板保持机构，其在形成于载物台的表面的吸引孔产生吸引力而将基板吸附保持于载物台的表面；涂敷组件，其相对于基板相对移动的同时喷出涂敷液，其中，在基板保持机构的吸引孔连通连接与产生吸引力的吸引力产生装置连接的主配管及副配管，在主配管设有开闭主配管路径的主阀，在副配管设有开闭副配管路径的副阀，并设置有具备储存部的储存箱，所述储存部在比该副阀靠吸引力产生装置侧具有规定容量，储存部具有比一定区间的副配管的容量大的容量。

主权项

1. 一种涂敷装置，其具备：载物台，其载置基板；基板保持机构，其使形成于所述载物台的表面的吸引孔产生吸引力而将基板吸附并保持于所述载物台的表面；涂敷组件，其相对于保持在所述载物台的表面的基板相对地移动，并且喷出涂敷液，所述涂敷装置的特征在于，所述基板保持机构的吸引孔通过配管与产生吸引力的吸引力产生装置相连通地连接，所述配管具备能够利用主阀开闭的主配管和能够利用副阀开闭的副配管，在所述副配管设有储存箱，该储存箱在比所述副阀靠吸引力产生装置侧具备具有规定容量的储存部，且该储存部具有比一定区间内的副配管的容量大的容量。