[发明专利]热式流体流量传感器无效
| 申请号： | 200910002806.3 | 申请日： | 2009-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN101498596A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 佐久间宪之 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 王茂华;于英慧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种发热电阻体和测温电阻体使用金属薄膜且提高了检测灵敏度的热式流体流量传感器。做成在硅衬底(2)上形成有发热电阻体(3)、测量发热电阻体(3)的温度的发热电阻体用测温电阻体(4)、上游侧测温电阻体(5a)、下游侧测温电阻体(5b)和空气测温电阻体(6)的构造，在上述发热电阻体(3)和其引出布线内配置多个浮岛状的绝缘部。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 流量传感器 | ||
【主权项】：
1. 一种热式流体流量传感器，用于测量空气流量，其具有发热电阻体和设置在上述发热电阻体旁边的测温电阻体，其特征在于，具有：半导体衬底；形成在上述半导体衬底上的第一绝缘膜；以及形成在上述第一绝缘膜上且具有从其底部露出了上述第一绝缘膜的槽的第二绝缘膜，上述发热电阻体和上述测温电阻体由被埋入上述槽内的导体膜构成，在上述发热电阻体的内部配置有由上述第二绝缘膜构成的浮岛状绝缘部。
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