[实用新型]一种卧式扩散炉的摆动式推舟无效
| 申请号： | 200820178158.8 | 申请日： | 2008-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN201322544Y | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 宋长钰;郑慧东 | 申请（专利权）人： | 株洲众欣科技发展有限责任公司 |
| 主分类号： | F27D5/00 | 分类号： | F27D5/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孙长龙 |
| 地址： | 412007湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种卧式扩散炉的摆动式推舟，包括：安装在摆动推动舟上的SiC浆安装座，SiC浆安装座上安装有安放扩散片的SiC浆，SiC浆安放在石英管内，SiC浆安装座在传动机构的带动下，带动石英管内的SiC浆产生水平往返移动，所述传动机构包括：连接在电机的联轴器和曲柄机构。本实用新型是采用使载有工件的推舟在工艺过程中不断往返运动，将扩散气体的流动方式由层流变为紊流，具有以下优点：有效地提高扩散的均匀性，在扩散过程中，能源地消耗主要是由气源排放与炉体的散热造成，降低气源地排放就降低了能耗，由于扩散气源对人体和环境都有损害的物质，降低了气源地排放对降低环境的污染有很大的作用，采用传统方式进气源，可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卧式 扩散 摆动 式推舟 | ||
【主权项】：
1、一种卧式扩散炉的摆动式推舟，其特征在于，包括：安装在摆动推动舟(4)上的SiC浆安装座(3)，SiC浆安装座(3)上安装有安放扩散片(1)的SiC浆，SiC浆安放在石英管(2)内，SiC浆安装座(3)在传动机构的带动下，带动石英管(2)内的SiC浆产生水平往返移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株洲众欣科技发展有限责任公司，未经株洲众欣科技发展有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200820178158.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：存储行标识符值的字典的强制排序
- 下一篇：空调小管径内螺纹铜管换热器
