[实用新型]一种非球面微透镜阵列制作装置

摘要

本实用新型涉及一种非球面微透镜阵列制作装置，解决了现有微透镜及其阵列器件制作时无法操控透镜面形和实时检测透镜面光学性能的问题。该装置包括主体支架、注射器、上电极、横向检测光路、纵向检测光路和环形紫外光源等；注射器下方设有盛液盒；注射器的一侧设有上电极和样品台，样品台下表面和上电极上表面设有氧化铟锡镀层，可形成平板电容式电场。用注射器将液滴放置于样品台和上电极之间，由电场操控液滴透镜的面形，横向检测光路实时检测其面形，纵向检测光路检测聚焦光斑，根据面形和焦斑图像进行像差分析，当面形和焦斑合适时，环形紫外光源将液滴透镜固化，得到具有良好光学性能的固体非球面微透镜。本实用新型工艺简单、重复性高、成本低。

主权项

1、一种非球面微透镜阵列制作装置，其特征在于：包括主体支架(9)、注射器(19)、上电极(11)、横向检测光路、纵向检测光路、环形紫外光源(8)和整体式二维平移台(4)；所述主体支架(9)下部为工作台状，工作台中部向上为门字形垂直立臂，垂直立臂上端设有一悬臂；垂直立臂一侧的主体支架(9)的工作台上设有注射器横向平移台(21)，注射器横向平移台(21)上垂直设有注射器纵向平移台(20)，注射器(19)通过注射器支架(18)设于注射器纵向平移台(20)上；注射器(19)下方的主体支架(9)上设有盛液盒(22)；盛液盒(22)一侧的主体支架(9)下部通过白光光源支架(24)设有白光光源(23)，且白光光源(23)与样品台(6)对应；主体支架(9)另一侧下部通过反光镜支架(29)设有反光镜(5)，反光镜(5)的下方对应设有低像差镜头(2)，低像差镜头(2)连接着面形检测摄像头(1)；所述横向检测光路由所述的白光光源(23)、反光镜(5)、低像差镜头(2)和面形检测摄像头(1)组成；所述主体支架(9)的悬臂端部连接着一维调整台(17)，一维调整台(17)上设有长工作距离物镜(14)，长工作距离物镜(14)连接着观察摄像头(16)，观察摄像头(16)一侧设有半导体激光器(13)；长工作距离物镜(14)下方设有上电极(11)，上电极(11)通过上电极支架(12)设于上电极纵向平移台(15)上，上电极纵向平移台(15)立设于上电极横向平移台(10)上，上电极横向平移台(10)设于主体支架(9)的门字形垂直立臂中部工作台面上；与上电极(11)对应，整体式二维平移台(4)下方设有连续变倍镜头(25)，连续变倍镜头(25)连接着焦斑检测摄像头(28)，连续变倍镜头(25)通过二维调整台(26)设于光斑寻找平移台(27)上，光斑寻找平移台(27)垂直设于主体支架(9)下部；所述纵向检测光路由所述的半导体激光器(13)、连续变倍镜头(25)和焦斑检测摄像头(28)组成；悬臂下方通过平移台支架(3)设有整体式二维平移台(4)，整体式二维平移台(4)为回字形，其顶面设有样品台(6)，其中部上方设有环形紫外光源(8)。