[实用新型]一种高精度连续退火炉在线露点检测装置

摘要

一种高精度连续退火炉在线露点检测装置，其包括，采样气体管；第一、第二露点测量室；第一露点检测单元，包括第一发光元件、第一单色器、第一感光元件、露点温度检测元件、湿镜；第二露点检测单元，包括第二发光元件、第二单色器、第二感光元件、干镜；露点温度控制单元，包括，散热元件，设于湿镜下；散热元件驱动功率放大器，连接散热元件；I-V转换器，连接散热元件驱动功率放大器；反射率对比控制电路、光电桥，接第一、第二感光元件以及散热元件驱动功率放大器。本实用新型采用双镜双光路，补偿了镜面污染对测量结果的影响。并采用镜面实际反射率与标准镜面放射率的对比控制电路，可以自动、准确地判断出镜面上的烟尘对测量结果的影响。

主权项

1.一种高精度连续退火炉在线露点检测装置，其特征是，包括，采样气体管，其一端口接连续退火炉内；第一露点测量室，其为真空室，其内设一本体，本体内开设一个贯通的、供待测气体通过的主通道，主通道中间上方开有一个与主通道垂直连通、供观测的观测通道，主通道下方对应该观测通道开设一容置空间；观测通道两侧分别斜向开有一个与主通道连通的第一、第二真空光源通道；所述的采样气体管的另一端口接该第一露点测量室主通道进口；主通道出口通过管道接气泵，且出口管道还接设一流量计；第一露点检测单元，包括，第一发光元件、第一单色器，分别设置于所述的第一露点测量室本体内第一真空光源通道进口端内；第一感光元件，设置于所述的第一露点测量室本体内第二真空光源通道出口端内；湿镜或冷凝镜，设置于所述的第一露点测量室本体内主通道下方的一容置空间内；露点温度检测元件，设置于湿镜或冷凝镜下；第二露点测量室，同第一露点测量室，包括主通道、与主通道连通的第一、第二真空光源通道；第二露点检测单元，包括，第二发光元件、第二单色器，分别设置于所述的第二露点测量室本体内第一真空光源通道进口端内；第二感光元件，设置于所述的第二露点测量室本体内第二真空光源通道出口端内；干镜，设置于所述的第二露点测量室本体内主通道下方的一容置空间内；露点温度控制单元，包括，散热元件，设置于第一露点测量室内第一露点检测单元的露点温度检测元件、湿镜下；散热元件驱动功率放大器，连接散热元件；I-V转换器，连接散热元件驱动功率放大器；反射率对比控制电路、光电桥，分别接第一、第二感光元件以及露点温度控制单元中的散热元件驱动功率放大器；报警装置，连接反射率对比控制电路。