[实用新型]光束质量因子矩阵仪

摘要

一种光束质量因子矩阵仪，由衰减倍数可调的线性衰减器、分束器、焦距可调的聚焦器、分束器组、光电探测器、同步控制器、电荷耦合器件组、路由器和计算机组成，分束器组包括至少9个分束器，电荷耦合器件组包括至少10个电荷耦合器件。同步控制器分别与计算机及电荷耦合器件组中的各电荷耦合器件连接，当接收到光电探测器发送的激光入射信号时，同时触发各电荷耦合器件工作，并向计算机发出已进行了一次触发的信号；路由器分别与计算机及电荷耦合器件组中的各电荷耦合器件连接，将来自各电荷耦合器件的数据传送给计算机；计算机对接收到的数据进行处理并输出被测激光的M²因子矩阵结果。

主权项

1、一种光束质量因子矩阵仪，其特征在于由衰减倍数可调的线性衰减器(2)、分束器(3)、焦距可调的聚焦器(4)、分束器组(5)、光电探测器(6)、同步控制器(8)、电荷耦合器件组(7)、路由器(9)和计算机(10)组成，分束器组(5)包括至少9个分束器，电荷耦合器件组(7)包括至少10个电荷耦合器件；衰减倍数可调的线性衰减器(2)、分束器(3)、焦距可调的聚焦器(4)、分束器组(5)依次放置在同一光路上，分束器组(5)中的分束器一半位于瑞利距离以内；所述分束器(3)将入射激光分成两束，其中一束沿原光路传播，另一束至光电探测器(6)，光电探测器(6)将信号实时发送给同步控制器(8)；分束器组(5)中的各分束器将经聚焦器(4)聚焦后的入射激光分成两束，其中一束沿原光路传播，另一束至对应的电荷耦合器件接收面，分束器组(5)中处于末端的分束器所分成的两束激光分别被两个电荷耦合器件接收；同步控制器(8)分别与计算机(10)及电荷耦合器件组(7)中的各电荷耦合器件连接，当接收到光电探测器(6)发送的激光入射信号时，同时触发各电荷耦合器件工作，并向计算机(10)发出已进行了一次触发的信号；路由器(9)分别与计算机(10)及电荷耦合器件组(7)中的各电荷耦合器件连接，将来自各电荷耦合器件的数据传送给计算机(10)；计算机(10)对接收到的数据进行处理并输出被测激光的M2因子矩阵结果。