[实用新型]一种热子型吸气元件

摘要

本实用新型提供一种热子型吸气元件，电阻加热丝螺旋作为涂敷吸气剂的支架，在螺旋丝上电泳一层氧化铝作绝缘层，吸气剂填充在螺旋空腔中，最后用吸气剂将整个螺旋包覆起来。吸气元件激活方式采用在螺旋丝两端加上电源直接对吸气元件进行加热，避免感应加热或烘烤加热给电真空器件整体带来的热损伤。通过对电阻加热丝材料、丝径、螺旋参数的选择，并根据吸气剂的质量来调节激活的电流或电压，获得所需的吸气剂激活温度。吸气元件可根据电真空器件内部形状调整螺旋丝的弧度，有效利用电真空器件内部空间，不需要单独的吸气剂室。本实用新型解决了吸气元件的放置对电真空器件结构设计的限制，及感应加热或烘烤加热给电真空器件整体带来热损伤的问题。

主权项

1. 一种热子型吸气元件，其特征在于，所述吸气元件组成包括吸气剂支架，氧化铝绝缘层以及吸气剂；所述吸气剂支架为电阻加热丝绕成的螺旋，其上有一层氧化铝绝缘层；整个螺旋被吸气剂包覆起来，并且所述加热丝螺旋的空腔中还填充有吸气剂。