[实用新型]满足空间极紫外仪器定标测试用实验室19.5nm极紫外光源系统无效
| 申请号： | 200820080370.0 | 申请日： | 2008-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN201203477Y | 公开（公告）日： | 2009-03-04 |
| 发明（设计）人： | 李保权;张鑫;彭吉龙;曾智蓉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空间科学与应用研究中心 |
| 主分类号： | G01J3/10 | 分类号： | G01J3/10 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高存秀 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及满足空间极紫外仪器定标测试用实验室19.5nm极紫外光源系统，由极紫外光源设置在真空测试室外，极紫外光源通过极紫外光源的出口法兰、真空插板阀、真空管道串连到真空测试室；多层膜反射镜和待测仪器分别设置于真空测试室内组成，其中该多层膜反射镜的中心与极紫外光源的出口法兰的轴线重合，待测仪器的视场角中心对准多层膜反射镜的中心，使反射光线能够入射到待测仪器上。本实用新型提供的高强度19.5nm实验室极紫外光源系统，用15000eV的微聚焦电子源轰击纯铝靶，激发铝原子内壳层电子跃迁，产生大量极紫外辐射，然后通过Mo/Si多层膜反射镜分光出高强度的19.5nm极紫外射线。该光源系统能够在实验室条件下方便地满足空间极紫外探测仪器定标测试需要。 | ||
| 搜索关键词： | 满足 空间 紫外 仪器 定标 测试 实验室 19.5 nm 光源 系统 | ||
【主权项】：
1.一种满足空间极紫外仪器定标测试用实验室19.5nm极紫外光源系统，包括真空测试室和管道；其特征在于，还包括一极紫外光源、极紫外光源的出口法兰、真空插板阀和多层膜反射镜；其中所述的极紫外光源设置在真空测试室外，极紫外光源通过极紫外光源的出口法兰、真空插板阀、真空管道串连到真空测试室；所述的多层膜反射镜和待测仪器分别设置于真空测试室内，并且该多层膜反射镜的中心与极紫外光源的出口法兰的轴线重合，所述的待测仪器的视场角中心对准多层膜反射镜的中心，使反射光线能够入射到待测仪器上。
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