[发明专利]高黏度精密胶泵有效
| 申请号： | 200810228794.1 | 申请日： | 2008-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN101737314A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 陈焱 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F04B53/00 | 分类号： | F04B53/00;F04B53/14;F04B49/00;F04B15/02;B05B9/04 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及应用于PI(聚酰亚胺)及高黏度光刻胶等高黏度特种胶液的精密供液系统，具体为一种高黏度精密胶泵，解决普通胶泵在旋转涂敷后，经过烘烤坚膜胶膜表面出现大量微小“麻点”等问题。该胶泵的胶泵进口和胶泵出口处分别采用气动膜片密封机构，气动膜片密封机构设有气动活塞、膜片和复位弹簧，气动活塞一端与膜片相连，气动活塞另一端安装复位弹簧，气动膜片密封机构的膜片与胶泵进口或胶泵出口相对应，气动活塞所在的腔体分别开有进气口。本发明胶泵主要应用在高密度封装技术、MEMS等工艺专用自动涂胶设备的供胶系统中，是这类设备的必备核心部件。 | ||
| 搜索关键词： | 黏度 精密 | ||
【主权项】：
一种高黏度精密胶泵，胶泵两侧设有胶泵进口(8)和胶泵出口(9)，胶泵内的腔体(1)中设置活塞(4)，其特征在于，该胶泵的胶泵进口(8)和胶泵出口(9)处分别采用气动膜片密封机构，气动膜片密封机构设有气动活塞(5)、膜片(7)和复位弹簧(14)，气动活塞(5)一端与膜片(7)相连，气动活塞(5)另一端安装复位弹簧(14)，气动膜片密封机构的膜片与胶泵进口(8)或胶泵出口(9)相对应，气动活塞(5)所在的腔体分别开有进气口(6)。
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