[发明专利]生成超声振动的装置与方法及用其清洗晶片的装置与方法有效
| 申请号： | 200810149050.0 | 申请日： | 2008-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN101391255A | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 安英基;郑载正;成保蓝璨 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B06B3/00 |
| 代理公司： | 上海恩田旭诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 尹洪波 |
| 地址： | 韩国忠南天*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 生成超声振动的装置及方法中，在超声振动生成器中生成的超声振动经由材料层传递以控制所述超声振动的强度及方向。清洗晶片的装置及方法中，清洗溶液供给器将用于清洗所述晶片的清洗溶液供给至所述晶片上。超声振动生成器生成超声振动。所述超声振动经由传递部件的材料层传递以控制所述超声振动的强度及方向。将所述超声振动施加至所述清洗溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 生成 超声 振动 装置 方法 清洗 晶片 | ||
【主权项】：
1、一种生成超声振动的装置，所述装置包括：生成超声振动的超声振动生成器；及位于所述超声振动生成器的一端部的传递部件，并且所述传递部件包括至少一种用于控制所述超声振动的强度与方向的材料，所述超声振动经由所述传递部件传递至用于清洗晶片的清洗溶液。
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