[发明专利]基于移相干涉的二次共焦测量方法与装置无效
| 申请号： | 200810097210.1 | 申请日： | 2008-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN101275822A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 谭久彬;刘俭 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/00;G01B11/02;G01B11/22;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 150080*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于移相干涉的二次共焦测量方法与装置，在该装置中，激光器发出线偏振光束，经过准直扩束镜组后成为近似理想平面波；经过偏振分光镜和四分之一波片之后成为圆偏振光束；经过分光镜分为两束光，第一束光由分光镜透射，经过反射镜反射，分光镜反射，经收集物镜会聚在由第二针孔和探测器组成的点探测器；第二束光由分光镜反射，经过探测聚焦物镜、分光镜会聚在测量表面上，经过测量表面反射，经过探测聚焦物镜、经收集物镜会聚在点探测器；第一微驱动器用于驱动反射镜改变参考光和测量光的相位差，实现移相干涉；测量点初始位置为第一种共焦状态。本发明还公开了一种基于移相干涉的二次共焦测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 相干 二次 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基于移相干涉的二次共焦测量装置，其特征在于：包括：激光器(1)、准直聚焦物镜(2)、第一针孔(3)、准直扩束物镜(4)、偏振分光镜(5)、四分之一波片(6)、分光镜(7)、探测聚焦物镜(10)、收集物镜(12)、第二针孔(13)、探测器(14)；反射镜(8)、第一微驱动器(9)、第二微驱动器(11)；其中，所述激光器(1)发出线偏振光束，经过准直聚焦物镜(2)、第一针孔(3)、准直扩束物镜(4)构成的准直扩束镜组后成为近似理想平面波；经过偏振分光镜(5)和四分之一波片(6)之后成为圆偏振光束；经过分光镜(7)分为两束光，第一束光由分光镜(7)透射，经过反射镜(8)反射，分光镜(7)反射，经收集物镜会聚在由第二针孔(13)和探测器(14)组成的点探测器；第二束光由分光镜(7)反射，经过探测聚焦物镜(10)、分光镜(7)会聚在测量表面上，经过测量表面反射，经过探测聚焦物镜(10)、经收集物镜会聚在点探测器；第一微驱动器(9)用于驱动反射镜(8)改变参考光和测量光的相位差，实现移相干涉；测量点初始位置为第一种共焦状态。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学，未经哈尔滨工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810097210.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种柔性线路板定位孔的制作方法
- 下一篇：一种远程网络冰箱
