[发明专利]液体喷头及其制造方法

摘要

一种液体喷头包括其中形成单独的液体通道的通道部件、固定到该通道部件的平面的隔膜、形成在该隔膜上的压电层、形成在各个压电层上的单独电极、电连接到各个单独电极的焊盘。该焊盘距压电层的表面的高度高于该单独电极距压电层的表面的高度。每个单独的液体通道具有液体喷射开口和压力室，其中在该平面上露出该压力室的内部空间。在更远离该平面的部分，在每个压力室的侧壁形成突出，由此增加该压力室的内部空间沿该平面的长度。当在垂直于该平面的方向观看时，焊盘的至少一部分重叠于该突出。

主权项

1.一种液体喷头，包括：通道部件，包括多个单独的液体通道和一平面，每个所述液体通道具有液体喷射开口和对应于所述液体喷射开口的压力室，并且在所述平面上形成有多个开口，以露出每个压力室的内部空间；一个或多个隔膜，被固定到所述平面以便封闭所述开口；多个压电层，相对于沿所述平面的方向互相隔开，并且形成在所述隔膜上，以便与各个压力室相对；多个单独电极，形成在各个压电层上；以及多个焊盘，被电连接到各个单独电极并且所述多个焊盘距所述压电层的表面的高度高于所述单独电极距所述压电层的表面的高度，其中：在更远离所述平面的部分在每个压力室的侧壁形成突出，由此增加所述内部空间沿所述平面的长度；以及当在垂直于所述平面的方向上观看时，每个焊盘的至少一部分重叠于对应于所述焊盘的压力室的所述突出。