[发明专利]用于平板显示器的化学气相沉积设备

摘要

本发明是关于一种用于平板显示器的化学气相沉积设备，包含：基座，其安装在腔室中，能够升高，且具有上面加载平板显示器的上表面；柱，其具有耦合到基座的后表面的中心区域的上端，和向下穿过腔室而暴露的下端，从而支撑基座，使其能够升高；以及基座支撑件，其在腔室中耦合到柱，且允许上表面的至少一区域接触并支撑基座的后表面，从而从基座的下侧支撑基座，以防止基座下垂。

主权项

1.一种用于平板显示器的化学气相沉积设备，其特征在于其包括：基座，其安装在腔室中，能够升高，且具有上面加载所述平板显示器的上表面；柱，其具有耦合到所述基座的后表面的中心区域的上端，和向下穿过所述腔室而暴露的下端，从而支撑所述基座，使其能够升高；以及基座支撑件，其在所述腔室中耦合到所述柱，且允许其上表面的至少一区域接触并支撑所述基座的所述后表面，从而从所述基座的下侧支撑所述基座，以防止所述基座下垂。