[发明专利]一种喷嘴的清洁方法无效
| 申请号： | 200810088919.5 | 申请日： | 2008-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN101554624A | 公开（公告）日： | 2009-10-14 |
| 发明（设计）人： | 胡珂;陈耀;胡建丰;陈晓琪 | 申请（专利权）人： | 和舰科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/02 | 分类号： | B05B15/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑 光 |
| 地址： | 215025江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种喷嘴的清洁方法，针对现有E2/E3喷嘴都是通过人工清洁从而导致极易对喷头造成损伤，或是由于手脏污或是无尘布脏污造成导致清洁不彻底的问题而发明。本发明提出了一种喷嘴的清洁方法，充分利用了E2/E3喷嘴接触式的特点，通过在晶片表面喷去离子水，并通过去离子水的表面张力使E2/E3喷嘴浸泡在去离子水中，通过晶片表面的去离子水清洁E2/E3喷嘴。本发明提出的喷嘴清洁方法能够有效的清洁E2/E3喷嘴，并能够解决现有技术中人工清洁喷嘴带来的易损坏、清洁不彻底等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷嘴 清洁 方法 | ||
【主权项】：
1.一种喷嘴的清洁方法，包括：在晶片表面喷去离子水，并将喷嘴移动到晶片表面，使喷嘴与所述去离子水接触以清洁喷嘴。
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