[发明专利]等离子显示面板及其制造方法

摘要

本发明提供在将两层结构的总线电极一并曝光及显影而形成电极图案时，抑制电极宽度方向端部的突出，绝缘耐压不良的等离子显示面板的制造方法。在使用掩模的光刻法中，在形成两层结构的电极图案时，遮住形成电极图案的电极材料的糊剂膜的部分表面的一部分，同时，照射光而曝光，由此在显影后的电极表面形成凹部，利用该凹部分离抑制电极宽度方向中央部的热收缩、和端部的热收缩。

主权项

1.一种等离子显示面板的制造方法，在玻璃基板上涂敷成为下层电极的第一材料而形成第一层，在所述第一层的表面涂敷成为上层电极的第二材料而形成第二层，向形成电极的部分，遮住形成所述电极的部分的表面的一部分而照射光，由此进行曝光之后经显影而形成电极，其中，遮住形成所述电极的部分的表面的一部分的遮光部件的与电极的宽度方向平行的方向的尺寸T为2μm≤T≤10μm，曝光后形成的电极的宽度方向端部、和所述遮光部件的宽度方向的端部的间隔L为1μm≤L≤10μm。