[发明专利]探测方法、探测装置和存储介质无效
| 申请号： | 200810087853.8 | 申请日： | 2008-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN101275985A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 石井一成 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘春成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种探测方法、探测装置和存储介质。使按照相对于配置有电极片的基板垂直的方式形成的探针与电极片接触，之后作为过驱动工序，使探针陷入电极片内，获得电极片和探针的接触，在测定该基板的电特性时，探针的针尖可靠地纳入电极片内，进一步加大在过驱动工序中形成的电极片的针迹。使基板上升以使电极片和探针接触，接着以探针的针尖陷入电极片内的方式，使基板在垂直方向上升并同时在水平方向移动，削去电极片的表面的氧化膜，使电极片和探针导通。 | ||
| 搜索关键词： | 探测 方法 装置 存储 介质 | ||
【主权项】：
1.一种探测方法，其使按照与被检查体相对且垂直的方式形成的探针与所述被检查体的电极片电接触，对该被检查体的电特性进行测定，其特征在于，包括：将所述被检查体载置于载置台上的工序(a)；接着进行所述被检查体与所述探针的对位的工序(b)；之后，使所述载置台上升，从而使所述电极片与所述探针接触的工序(c)；和接着为了使所述探针的针尖陷入所述电极片内，使所述载置台在铅直方向上升并同时在水平方向移动，削去所述电极片的表面的氧化膜，使所述电极片和所述探针导通的工序(d)。
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