[发明专利]卡盘工作台机构

摘要

本发明提供一种卡盘工作台机构，在对被加工物施加压力来进行加工的加工装置中，能够利用可靠性高且经济性优良的机构来控制加工时的压力。在卡盘工作台机构(2)中，旋转轴(21)具有支承板(240)，该支承板(240)具有相对于轴心正交的面，旋转轴(21)由向心轴承(23)和推力轴承(24)支撑，在该卡盘工作台机构(2)中，在推力轴承(24)上设置有进行对应于与支承板240之间的间隔的输出的间隔对应输出构件(26、27)，根据该输出的变化来识别载荷的变化，由此来控制载荷。

主权项

1.一种卡盘工作台机构，其至少由以下部件构成：旋转轴；壳体，其具有利用空气支撑上述旋转轴的径向的向心轴承、和利用空气支撑上述旋转轴的轴向的推力轴承；以及保持部，其在上述旋转轴的前端保持晶片，其特征在于，上述推力轴承由以下部件构成：支承板，其形成在上述旋转轴上，并具有与上述旋转轴的轴心正交的第一板面和第二板面；第一支撑部，其向上述第一板面喷出空气，并通过该空气来支撑上述第一板面；以及第二支撑部，其向上述第二板面喷出空气，并通过该空气来支撑上述第二板面，在上述第一支撑部或上述第二支撑部上具有间隔对应输出构件，该间隔对应输出构件输出对应于与上述第一板面或上述第二板面之间的间隔的信息，在上述间隔对应输出构件上连接有载荷变化检测构件，该载荷变化检测构件通过检测到与上述第一板面或上述第二板面之间的间隔的变化来检测施加在上述旋转轴上的载荷的变化。