[发明专利]磁控管有效
| 申请号： | 200810086446.5 | 申请日： | 2008-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN101276723A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | M·B·C·布雷迪 | 申请（专利权）人： | E2V技术（英国）有限公司 |
| 主分类号： | H01J25/50 | 分类号： | H01J25/50;H01J23/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;刘华联 |
| 地址： | 英国埃*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种磁控管，具有阴极(1)和阳极(2)，该阳极(2)具有叶片(3)，该磁控管具有位于其中的隔离表面(4)，其面向阴极并且由于阴极处的溅射从阴极接收材料。导体(7)使得这样沉积的膜的电阻能够被测量，从而提供对该膜厚度和磁控管使用寿命的指示。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控管 | ||
【主权项】：
1.一种磁控管，所述磁控管包括隔离表面，所述隔离表面暴露于阴极，以便在操作时接收从所述阴极损失的材料。
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