[发明专利]硬质叠层被膜

摘要

一种硬质叠层被膜，以层A和层B的组成不相同的方式，交替叠层由特定组成构成的层A和层B。每层的层A的厚度是每层的层B的厚度的2倍以上，而且，每层的层B的厚度在0.5nm以上，每层的层A的厚度在200nm以下。由此，本发明提供一种能够用于以超硬合金、金属陶瓷或高速工具钢等为基材的切削工具，或者汽车用滑动部件等的耐磨损性被膜。

主权项

1.一种硬质叠层被膜，其特征是：交替叠层由特定组成构成的层A和层B，层A的晶体结构和层B的晶体结构不相同，每层的层A的厚度是每层的层B的厚度的2倍以上，每层的层B的厚度在0.5nm以上，每层的层A的厚度在200nm以下，其中，所述层A由：式1：(Ti1-x-yAlxMy)(BaCbN1-a-b-cOc)的组成构成，但是，x、y、a、b、c分别表示原子比，0.4≤x≤0.8、0≤y≤0.6、0≤a≤0.15、0≤b≤0.3、0≤c≤0.1、M为从元素周期表中的4A族、5A族、6A族中的金属元素、及Si中选择的一种以上元素；所述层B由从：式2：B1-x-yCxNy，但是，x、y分别表示原子比，0≤x≤0.25、B/N≤1.5、式3：Si1-x-yCxNy，但是，x、y分别表示原子比，0≤x≤0.25、0.5≤Si/N≤2.0、式4：C1-xNx，但是，x表示原子比，0≤x≤0.6、式5：Cu1-y(CxN1-x)y，但是，x、y分别表示原子比，0≤x≤0.1、0≤y≤0.5中选择的任何一个组成构成。