[发明专利]一种紫外倍频激光器

摘要

本发明涉及一种紫外倍频激光器，包括半导体激光器、光学耦合系统以及激光腔，激光腔包括激光增益介质、倍频晶体以及紫外倍频晶体，其中在激光增益介质与紫外倍频晶体设置紫外光透明的Walk－off晶体，利用紫外光透明的Walk－off晶体改变倍频光偏振方向，将易受紫外光损伤的光学元件如激光增益介质隔离在紫外光透明的Walk－off晶体一端，从而保护整个激光器免受其产生紫外光损伤，实现紫外腔内倍频。

主权项

1、一种紫外倍频激光器，包括半导体激光器、光学耦合系统以及激光腔，激光腔包括激光增益介质、倍频晶体或三倍频、四倍频、五倍频晶体以及紫外倍频晶体，其特征在于：在激光增益介质与紫外倍频晶体设置紫外光透明的Walk-off晶体，紫外光透明的Walk-off晶体高于激光腔中的其它光学元件，激光腔的激光增益介质一端镀有前腔膜，其对基波λ、倍频光λ/2高反，激光腔的紫外倍频晶体另一端镀有后腔膜，其对基波λ、倍频光λ/2高反，同时对紫外λ/4透射，紫外光透明的Walk-off晶体高出其它光学元件、相对后腔膜的面镀有腔膜，其对λ/4、λ/2、、λ/3或者λ/5倍频光高反。