[发明专利]低热效应投影物镜有效
| 申请号： | 200810042738.9 | 申请日： | 2008-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN101354476A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 武珩;储兆祥;赵滨 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B1/00;G03F7/20;G02B27/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低热效应投影物镜，其选择合适材料并通过合理的结构设计，能实现在高曝光剂量下较小的热效应，降低了热效应补偿的难度，同时能在44mm×44mm方形视场范围内实现良好均匀的像质，物方像方工作距离达到30mm，总长不超过800mm，且不包含非球面镜片，不给加工、测试和装调增加难度。 | ||
| 搜索关键词： | 低热 效应 投影 物镜 | ||
【主权项】：
1、一种低热效应投影物镜，包括从物方到像方沿光轴依次排列的第一至第十二透镜，所述第六和第七透镜之间设有光阑，所述第一至第六透镜与所述第十二至第七透镜关于所述光阑对称；其特征在于：所述第一、第二、第六透镜具有正光焦度，所述第三、第四、第五透镜具有负光焦度；所述的十二片透镜中，全部采用了10mm内部透光率达到0.999的材料制成，且所述的十二片透镜均不包含非球面表面。
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