[发明专利]具有宽的低反射旁通带的多峰窄带反射滤光片

摘要

一种具有宽的低反射旁通带的多峰窄带反射滤光片，膜系结构为：Sub|(HL)^m1H(α₁LHLH)(α₂LHLH)……(α_qLHLH)L(HL)^m2βMP|Air，其中，Sub为光学薄膜基片，Air为空气，H、L分别为1/4波长光学厚度的高、低折射率材料，α₁、α₂……α_q为L间隔层的厚度系数，其中，q为(αLHLH)重复单元的个数，M为金属层，β为厚度，P为导纳匹配层，m₁、m₂为相应的(HL)重复单元的个数。优点是：以非对称Fabry－Perot结构为基础的多重介质－金属复合结构，与已有全介质滤光片、亚波长光栅滤光片等有显著区别。具有反射峰数目的调控，极大地展宽了低反射旁通带，可精确控制反射峰宽度和位置，应用于光学仪器、天文、遥感、光通讯等领域。

主权项

1、一种具有宽的低反射旁通带的多峰窄带反射滤光片，膜系结构是以非对称Fabry-Perot结构为基础的多重介质-金属复合膜系，其特征在于：所述的膜系结构为：Sub|(HL)m1H(α1LHLH)(α2LHLH)……(αqLHLH)L(HL)m2βMP|Air，其中，Sub为光学薄膜基片，Air为空气，H、L分别为1/4波长光学厚度的高、低折射率材料，α1、α2……αq为紧邻其后的L间隔层的厚度系数，其中，q为(αLHLH)重复单元的个数，q为正整数，M为金属层，β为金属层的厚度，P为导纳匹配层，m1、m2为相应的(HL)重复单元的个数。