[实用新型]具有分散气体的分散板的镀膜装置

摘要

本实用新型是一种具有分散气体的分散板的镀膜装置，该镀膜装置包括一具有一镀膜室的中空状壳体、一具有多数间隔设置于该镀膜室中的电极板的电极单元、一用以将镀膜气体输送进该壳体的镀膜室中的输气管、一具有一与该镀膜室相连通的泵的抽气单元，以及一邻近所述电极板的底面且具有多数相间隔的分流孔的分散板，所述分流孔涵盖该电极板的底面的大部分面积，借由所述分流孔，让镀膜气体可均匀分布于该镀膜室中，以提高镀膜良率、改善整体镀膜效率。

主权项

1.一种具有分散气体的分散板的镀膜装置，该镀膜装置包括一个具有一镀膜室的中空状壳体，一设置于该镀膜室中的电极单元，一条用以将镀膜气体输送进该壳体的镀膜室中的输气管，一个具有一与该镀膜室相连通的泵的抽气单元，该电极单元具有多数片间隔设置于该镀膜室中的电极板，其特征在于：该镀膜装置还包括一片邻近所述电极板的底面的分散板，该分散板上形成多数相间隔的分流孔，所述分流孔涵盖大部分所述电极板的底面的面积。