[实用新型]真空设备的排气管道无效
| 申请号： | 200720144237.2 | 申请日： | 2007-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN201096251Y | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 李顺义;王健 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | F16L55/07 | 分类号： | F16L55/07 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王关根 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空设备的排气管道，包括两路管道，一路是由干泵、第一真空计、粗抽阀组成的粗抽排气管道，另一路是由干泵、第一真空计、气动阀、分子泵、遮断阀组成的细抽排气管道；其中在气动阀与第一真空计之间设置有第二真空计和由两路并联管道组成的排气系统，每路并联排气管道上各设置有两个阀门；除每路并联排气管道上的两个阀门之间的管道之外，其它管道外均设置有加热带。本实用新型应用于真空设备的排气系统中，可以降低清洗工作量，并且在解决故障、清洗管道时无需将生产设备停止下来，因而可实现不停机清洗管道，提高设备的使用效率，降低设备的故障率，提高设备的生产能力。 | ||
| 搜索关键词： | 真空设备 排气 管道 | ||
【主权项】：
1、一种真空设备的排气管道，包括两路管道，一路是由干泵、第一真空计、粗抽阀组成的粗抽排气管道，另一路是由干泵、第一真空计、气动阀、分子泵、遮断阀组成的细抽排气管道；其特征在于：在气动阀与第一真空计之间设置有第二真空计和由两路并联管道组成的排气系统，每路并联排气管道上各设置有两个阀门；除每路并联排气管道上的两个阀门之间的管道之外，其它管道外均设置有加热带。
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