[实用新型]双探针同点测量扫描探针显微镜

摘要

双探针同点测量扫描探针显微镜利用XY或XYZ压电扫描器、X定位范围增强了的或者增设了XY惯性步进的XY或XYZ压电扫描器，将样品测量点从第一探针送至第二探针附近并通过寻找记号实现第二探针对第一探针测量点的再次测量。两个探针由两个独立的Z定位器来调节它们与样品的间距，使得各探针不干扰另一探针的测量。该设计比现有的移动探针的同点测量技术少一个长程自由度，且双针允许相隔较远，也允许为不同类型探针，所以控制与制作都大为简化、且给出的数据更全面、可靠，意义更广、更深，特别适用于相变、反应动力学和交叉学科的研究。

主权项

1、一种双探针同点测量扫描探针显微镜，包括基体、样品座，其特征在于还包括第一探针、第二探针、第一Z定位器、第二Z定位器、定位座、XY压电扫描器，样品座固定于XY压电扫描器上，第一Z定位器固定于定位座上，第一探针固定于第一Z定位器的移动端并指向样品座构成第一Z调节器，第二Z调节器以下列三种方式之一构成：(a)第二Z定位器固定于定位座上，第二探针固定于第二Z定位器的移动端并指向样品座，定位座与XY压电扫描器固定于基体上；(b)第二探针固定于定位座上并指向样品座，定位座固定于第二Z定位器的移动端，第二Z定位器与XY压电扫描器固定于基体上；(c)第二探针固定于定位座上并指向样品座，XY压电扫描器固定于第二Z定位器的移动端，第二Z定位器与定位座固定于基体上。